TS 2000-DPにより、MPIは多機能で経済的なプローブ台を提供し、20°Cから300°Cの温度範囲でウェハ上の高出力デバイス測定を行うために使用され、測定能力は3 kV（3軸）/10 kV（同軸）と600 A（パルス）に達する。

製品の説明

1.各種ウエハ生産用途に特化した設計

DC-IV/DC-CV/Pulsed-IVアプリケーション

最大67 GHzの無線周波数アプリケーションと4ポート設定

10 kV/600 Aまでの高出力生産アプリケーション

室温から300℃までのIC設計検証

2. せいさんしんらいせい

24/7の安定した信頼性の高い生産性テストに特化した設計

統合受動防振台

オプションのアクティブ防振ベース

300℃に適した周囲温度

3. 人体工学の設計と選択

単結晶円前マウント設計が容易

大型プローブステーションは12 x直流または4 x DC+4 x RFマイクロロケータ、または4.5”標準プローブカード治具をサポートすることができる

特徴と利点

1. プローブカードとMicroPositioners

TS 2000-DPは12倍の高電圧（3 kV三軸または10 kV同軸まで）または4倍の多指高電流（400 A MicroPositionersまで）を提供する

多くの単一プローブ、専用プローブカードクリップ、アーク防止のための高出力プローブカード、システムを高出力デバイスの特性測定の理想的な選択にする

2. アークバック技術

このシステムにはArcShieldが搭載されている™，チャックとプローブプラテンの間に可能なアークが発生しないようにする

アーク防止プローブカードは、DUTの周囲に高圧を印加する能力を有し、パ37026の法則を用いてパッド間のアーク放電を防止する

特別設計のアークシールドLiquidTray™高出力吸盤表面に置くだけでアークを抑制することができます。ウエハは安全にトレイ内に置くことができ、液体に浸漬して無アーク放電高圧試験を行うことができる

MPIチャックは300°Cで最大10 kV（同軸）

3. 計器の一体化

TS 2000-DPは、Keysight B 15005(3 kVまたは10 kV)などの試験機器と最適に接続するために必要な高圧/高電流プローブとケーブル付属品を含む複数の機器接続パッケージを配置することができ、集積モジュールセレクタや吉時利2600-PCT-XB、集積8020高電力インタフェースパネルを含む.

4. ソフトウェアスイートSENTIO®

MPI自動化エンジニアリングプローブシステムは独特かつ革命的なマルチタッチ操作によってSENTIOソフトウェアスイートを制御する：簡単で直感的な操作は大量のトレーニング時間を節約し、Scroll、Zoom、Moveコマンドは現代のスマートモバイルデバイスを模倣し、一人一人が数分以内に専門家になることができるようにする

RFアプリケーションの場合、別のソフトウェアプラットフォームに切り替える必要はありません-MPI RFキャリブレーションソフトウェアプログラムQAlibriaとSENTIOは完全に統合されています-単一の操作概念方法に従うことで使いやすい